真空プリロード(VPL)は、ガラス基板の重量に関係なく、あらゆるガラス基板の搬送とロードを可能にする高速、高加速のモーションシステムテクノロジーです。VPLモーションシステムは、ホイールコンベヤーとエアフローティングステージ間のインターフェースとして最適です。駆動力の真空のオンとオフを切り替えるシステムの機能により、ガラスが処理システムに近づく間、ホイールに影響を与えることなくガラスの変形を最小限に抑えることができます。
VPLモーションシステム–断面 VPLホイール上のガラス
主な機能と利点:
- 表面接触が最小限のシンプルな構造
- オン/オフ切り替えのための上下運動なし
- 最小限のガラス変形(〜0.1mm)
- 高加速度(ガラスの重量に関係なく、約1m /秒²)
- 高いプロセス速度(1.5m /秒)により、TACTが低下します
- メンテナンスのダウンタイムを最小限に抑えるための最小限のキャリブレーション要件
- ガラスアプローチ中のホイールとのエッジインパクトなし
VPLモーションシステムのデモビデオについては、<ここをクリックしてください>