ブロックされたノズル監視システム

OLEDインクジェット印刷やフォトレジストコーティングなどの重要なFPD製造プロセスの一部は、圧力/真空（PV）処理段階への材料の漏れを引き起こす可能性があります。材料が漏れると、PVノズルが詰まり、製造システムのパフォーマンスが低下し、基板の高さの浮動精度に影響を与える可能性があります。極端な場合、詰まりによって基板とステージ表面が直接接触し、基板が損傷することがあります。つまり、PVノズルがブロックされると、ラインのダウンタイムが増加し、メンテナンスコストが高くなり、生産量が減少します。

CoreFlowからブロックノズル監視システムをご紹介します。閉塞ノズル監視システムは、ステージのプロセス領域の空気供給を追跡し、閉塞が検出されるとアラート表示を発します。この表示により、製造チームは1つのガラス基板サイクル時間内に閉塞イベントを特定できるため、トラブルシューティング時間が大幅に短縮され、製造歩留まりが向上します。
監視システムは、CoreFlow PVエアフローティングおよびバキュームステージと互換性があり、コーティングシステム、検査システム、およびインクジェットプリンターに統合できます。あらゆる基板サイズに拡張可能で、あらゆるノズルパターン分布をサポートします– 2軸の直交、1軸の千鳥分布、軸対称、またはランダム分布を含みます。システムは、システム内のすべての真空ノズルまたはそれらのサブセットを監視するように構成できます。