Solution override title: UV硬化
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あらゆる基板サイズと厚さの信頼性の高い硬化のための圧力と真空の組み合わせ技術

紫外線硬化（UV硬化）は、高強度の紫外線を使用してコーティングや接着剤を瞬時に硬化させる光化学プロセスです。
CoreFlowの空気力学ソリューションはUV硬化プロセス段階に統合されており、ガラス基板が硬化プロセスのUVメカニズムを通過できるようにします。
CoreFlow独自のエアフローティングソリューションにより、コーティングされた基板は、約30μmの均一なエアギャップでステージ上に浮き、UV硬化光への一貫性の高い露光を保証します。
CoreFlowのエアフローティングソリューションは、あらゆるサイズと厚さのガラス基板用に設計でき、あらゆる長さのUV硬化ツールに組み込むことができます。UV光を使用するとステージが高レベルの熱にさらされるため、基板の反りや性能の問題を回避するために冷却方法が必要です。
イノベーション主導のターンキーソリューションプロバイダーとして、CoreFlowは韓国の大手OEM向けに特別に設計されたステージを製造しました。
ステージは、水冷システムに接続された埋め込み水冷チャネルを採用しています。

 

 

 

主な機能と利点 :

  • 最大±5μmのエアギャップ精度
  • シームラインのないUV光への一貫した露出
  • 埋め込まれた冷却システム
  • 低い空気消費量（圧力と真空）レベルはエネルギーコストを節約します
  • 耐久性のある表面は、引っかき傷、ほこり、および液体による損傷に耐性があります
  • UV硬化アプリケーション向けの実績のあるハンドリングシステム–あらゆるサイズ、あらゆる厚さの基板上
  • 可動部品が非常に少ない-メンテナンスコストを削減

Solution override title: スリットコーティング
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ムラフリープロセスのための高精度で最適な気流均一性

高度な航空機械ベースのハンドリングおよび搬送ソリューションの大手プロバイダーであるCoreFlowは、カラーフィルターおよびTFTアレイ製造用のFPDフォトレジストコーティング（スリットコーティング）アプリケーションで使用されるコンタクトシステムの高度な非接触ハンドリングハンドリングを提供します。

LCDおよびOLEDフラットパネルディスプレイのコーティングプロセスに適したCoreFlowシステムは、世界をリードするいくつかのFPD製造工場に設置されています。
CoreFlowのスリットコーティングエアフローティングステージは、プロセスゾーンで卓越した±5μmのエアギャップ精度を実現し、ガラス基板の取り扱いに比類のない信頼性を提供します。その結果、コーティングの品質が大幅に向上します。SmartNozzle™テクノロジーの独自のシステムは、エアギャップの精度と安定性を確保するために必要なエアクッション剛性を提供します。

Slit Coater System

空気システムは、あらゆるガラス基板サイズに対応する単一のシームレスなステージとして設計されており、滑らかで一貫した基板コーティングを保証し、村の影響を防ぎます。

 

主な機能と利点 :

  • ±5μmのエアギャップ精度（最大±2μm）
  • シームラインなしで一貫したコーティングを可能にします
  • プロセスゾーンでの公称エアギャップ： 30 ±5µm
  • FPDコーティングアプリケーション向けの実績のあるハンドリングシステム–あらゆるサイズ、あらゆる厚さの基材
  • 低い空気消費量（圧力と真空）レベルはエネルギーコストを節約します
  • 耐久性のある表面は、引っかき傷、ほこり、および液体による損傷に耐性があります
  • 可動部品が非常に少ない（モーションシステム）-メンテナンスコストを削減

Solution override title: FPD検査
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あらゆる基板サイズと厚さのAOI向けの高精度非接触ソリューション

CoreFlowは、最先端のG10ステージを含む世界中に数百の設備を備えており、FPD自動光学検査（AOI）アプリケーション向けの実績のあるクラス最高のエアフローティングソリューションを提供します。CoreFlowの処理プラットフォームはAOIシステムに統合されており、ガラス基板の一貫した信頼性の高い処理を提供し、最高の精度でポスティングを行います。

非接触の空気力学ステージは、CoreFlow独自のエアクッションとスマートノズル™テクノロジーを利用して、最大±5μmの高精度の垂直位置を維持しながら、基板の剛性と平坦性を確保します。

AOI system

CoreFlowのソリューションは、検査ゾーンの高精度のPVステージに接続された、シンプルな空気圧設計のリジッドレールエアバー構造を採用しています。

PVステージはスキャンラインの両側に配置されており、検査エリアとスキャンラインのバックライトの上に高精度のエアギャップを提供します。このステージの構成により、迅速な実装が可能になり、全体的な平坦性が向上すると同時に、低質量流量が利用されるため、エネルギーコストが削減されます。

主な機能と利点

  • 最適なエアギャップ精度と均一な平坦性
  • 検査システム全体にわたる信頼できるパフォーマンス
  • カスタマイズされたエアバーは、あらゆるサイズのガラス基板をサポートし、次のことが可能になります :
    • 最小数の圧力および真空接続
    • 調整スプリングの数が少ない
    • システムの基本構造へのシンプルなインターフェース
  • 低い空気消費量（圧力と真空）レベルはエネルギーコストを節約します
  • 耐久性のある表面は、引っかき傷、ほこり、および液体による損傷に耐性があります
  • 可動部品が非常に少ない（モーションシステム）-メンテナンスコストを削減

Solution override title: OLEDインクジェット印刷
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プロセスゾーンと温度均一性ソリューションの比類のない精度

CoreFlowは、超薄型、フレキシブル、大面積の有機LED（OLED）ディスプレイを製造するという業界の課題に対応し、OLEDインクジェット印刷システム向けの実績のあるクラス最高のエアーフローティングソリューションを提供します。

IOLED薄膜カプセル化（TFE）およびRGBピクセルパターニングで使用されるインクジェット印刷技術は、開発の進んだ段階に入っています。CoreFlowのプラットフォーム処理はOLEDインクジェット印刷システムに統合されており、最高の位置決め精度でガラス基板の一貫した信頼性の高い処理を提供します。

非接触のエアロメカニカルステージは、CoreFlow独自のエアクッションとスマートノズル™テクノロジーを利用して、印刷ゾーンで最大±5μmの高精度の垂直位置を維持しながら、基板の剛性と平坦性を確保します。

 

 

主な機能と利点：

  • 印刷ゾーンで±5μmのエアギャップ精度
  • シームラインのない一貫したコーティング
  • 低い空気消費量（圧力と真空）レベルはエネルギーコストを節約します
  • 耐久性のある表面は、引っかき傷、ほこり、および液体による損傷に耐性があります
  • FPDインクジェット印刷アプリケーション向けの実績のあるハンドリングシステム–任意のサイズと厚さの素材
  • 可動部品が非常に少ない（モーションシステム）-メンテナンスコストを削減
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