VPL 모션 시스템

Vaccum Pre-Load (VPL)은 무게와 상관없이 모든 유리 기판의 이송 및 로딩을 가능하게 하는 고속, 고가속 모션 시스템 기술입니다. VPL 모션 시스템은 휠 컨베이어와 에어 플로팅 스테이지 간의 인터페이스로 가장 적합합니다. 구동력 진공을 켜고 끄는 시스템의 기능은 휠에 영향을 주지 않고 유리가 프로세싱 시스템에 접근하는 동안 유리 변형을 최소화합니다.

VPL 모션 시스템 – 단면                                                                                                                                                                              VPL 휠 위의 유리

주요 특징 및 이점:

• 표면 접촉을 최소화한 간단한 구조
• 온/오프 스위칭을 위한 상/하 모션 없음
• 유리 변형 최소화(~ 0.1mm)
• 고가속(~ 1m/sec², 유리 무게와 무관)
• 빠른 처리 속도(1.5m/sec)로 TACT 감소
• 최소한의 보정 필요성으로 유지보수 다운타임 최소화
• 유리 접근 중 휠의 가장자리에 영향을 주지 않음

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