노즐 막힘 모니터링 시스템

OLED 잉크젯 프린팅 또는 포토레지스트 코팅과 같은 몇몇 중요한 FPD 제조 공정은 압력/진공(PV) 기판 취급 스테이지 위로 소재가 누출될 수 있습니다.
소재의 누출은 PV 노즐 막힘을 유발하여, 제조 시스템 성능이 저하되고 기판 플로팅 높이 정밀도에 영향을 줄 수 있습니다. 극단적인 경우, 노즐 막힘이 기판과 스테이지 표면 간에 직접 접촉을 유발하여 기판이 손상될 수 있습니다.

간단히 말해, PV 노즐 막힘은 라인 가동 중단 시간 증가, 유지 보수 비용 증가, 그리고 생산 수율 감소로 이어집니다.

CoreFlow는 노즐 막힘 모니터링 시스템을 도입합니다. 노즐 막힘 모니터링 시스템은 스테이지의 공정 영역에서 공기 공급을 추적하여 막힘이 감지되면 경고를 보냅니다. 이 경고 표시를 통해 생산 팀은 유리 기판 사이클 타임 내에 노즐 막힘 사건을 찾아내어 문제 해결 시간을 현저히 줄이고 생산 수율을 높일 수 있습니다.

노즐 막힘 모니터링 시스템은 CoreFlow PV 에어 플로팅 및 진공 스테이지와 호환되며, 코팅 시스템, 검사 시스템 및 잉크젯 프린터에 통합할 수 있습니다. 이 노즐 막힘 모니터링 시스템은 모든 기판 크기로 확장이 가능하며, 직교하는 두 축 분포, 한 축으로 배열된 분포 , 축에 대칭 또는 임의로 배열된 분포를 포함하여 그 어떠한 노즐 패턴 분포도 가능합니다. 시스템의 진공 노즐 전체나 부분 영역을 모니터링하도록 시스템을 구성할 수 있습니다.