결함 검사 (AOI) 시스템을 위한 에어 플로팅 솔루션

최신의 G10 스테이지를 포함하여, 전세계적으로 수백대의 설치 사례가 있는 CoreFlow는 FPD 자동 광학 검사(AOI) 분야를 위한 검증된, 최고수준의 에어 플로팅 솔루션을 제공합니다. CoreFlow의 핸들링 플랫폼을 AOI 시스템에 통합하여 최대 포지셔닝 정확도로 유리 기판을 일관되게 안정적으로 처리합니다.

비접촉식 공기 역학 스테이지는 CoreFlow만의 고유한 Air Cushion 및 SmarNozzle을 활용하여 기판 강성과 평탄도를 보장하는 동시에 최대 ±5μm의 매우 정확한 수직 포지셔닝을 유지합니다.

CoreFlow의 솔루션은 검사 영역의 고정밀 PV (공압진공) 스테이지에 연결되는 간단한 공압 설계가 적용된 강성 레일 에어 바 구조를 사용합니다.

진공압(PV) 스테이지는 스캔 라인의 양쪽에 위치하여, 검사 영역과 스캔 라인의 백라이트 위에서 매우 정확한 에어갭을 제공합니다. 이러한 스테이지 구성은 빠른 구현을 가능하게 하고, 전체적으로 우수한 평탄도를 제공하는 반면 낮은 질량흐름률의 사용으로 에너지 비용을 절감하게 합니다.

주요 특징 및 이점:

• 최적의 에어갭 정확도 및 균일한 평탄도
• 전체 검사 시스템에서 안정적인 성능
• 어떠한 치수의 유리 기판도 지원하는 고객맞춤형 에어 바는 다음과 같은 이점이 있습니다::
  • 압력 및 진공 연결 최소화
  • 적은 수의 조정 스프링
  • 시스템 하부 구조와의 간단한 인터페이스
• 공기 소비량(압력 및 진공)을 줄여 에너지 비용 절감
• 긁힘, 먼지 및 액체로 인한 손상에 강한 내구성 있는 표면
• 움직이는 부품이 거의 없음(모션 시스템) - 유지 보수 비용 절감