에어 쿠션 기술

CoreFlow는 핵심 기술인 SmartNozzle^TM 을 기반으로 FPD, 반도체 및 기타 산업에서 가장 엄격한 기판 처리 요구 사항을 충족시키기 위해 일련의 고급 공기 역학 솔루션을 개발했습니다.

• 공기압 (PA)
• 진공압 (PV)

공기압 (PA) 에어 쿠션

공기압(PA) 구성품은 SmartNozzle^TM 압력과 대기 배출 구멍을 결합하여 어떤 크기 또는 무게의 유리 기판에 대해서도 균일하고 견고한 에어 쿠션 지지 기능을 제공합니다. 이 에어 쿠션 구성품은 평판 디스플레이의 생산이나, 공장 자동화 그리고 공정 장비의 로드/언로드 영역에서 비접촉식 모션 시스템에 이상적입니다.

공기압(PA)의 주요 특징은 다음과 같습니다 :

• 대기 배출 구멍에 낮은 압력의 공기압 (80-350 mbar) 공급
• 통상적인 에어갭 : 150-500µm

진공압 (PV) 에어 쿠션

진공압 (PV) 구성품은 정밀한 위치제어와 기판의 평탄화를 보장하며, 높은 수준의 에어갭 정확도를 제공합니다. 높은 수준의 에어갭 정확도를 제공합니다. 진공압(PV) 공기역학적 표면은 강력한 양방향 고정력과 평탄화를 제공하며 FPD, 반도체, 디지털 프린팅 및 기타 산업에서 정확한 프로세스 영역과 평탄화 단계가 요구되는 시스템에 이상적입니다.

진공압(PV)의 주요 특징은 다음과 같습니다 :

• 통상적인 에어갭: ~30µm
• 통상적인 에어갭 정밀도: ± 5µm.
• 향상된 시스템 에어갭 정밀도: 최대 ± 2µm