포토레지스트 코팅 시스템을 위한 에어 플로팅 솔루션

첨단 공기 역학 기반의 기판 처리 및 이송 솔루션의 선도적인 공급사인, CoreFlow는 컬러 필터 및 TFT 어레이 제조를 위한 FPD 포토레지스트 코팅(슬릿 코팅) 응용 분야에 사용되는 첨단의 비접촉식 핸들링 시스템을 제공합니다.

LCD 및 OLED 평판 디스플레이의 코팅 공정에 적합한 CoreFlow 시스템은 세계 최고의 여러 FPD 제조 공장에 설치되어 있습니다.

CoreFlow의 슬릿 코팅 에어 플로팅 스테이지는 프로세스 영역에서 탁월한 ±5μm 에어갭 정확도를 제공하여, 유리 기판 핸들링에 있어서 탁월한 신뢰성을 보장합니다. 그 결과, 코팅 품질이 크게 향상됩니다. CoeFlow만의 고유한 SmartNozzle™ 기술은 에어갭의 정확도와 안정성을 보장하는 데 필요한 에어 쿠션 강성을 제공합니다.

에어 플로팅 시스템은 모든 크기의 유리 기판을 처리할 수 있는 하나의 균일한 스테이지로 설계되어 있어서 원활하고 일관된 기판 코팅을 보장하고 무라(Mura) 효과를 방지합니다.

주요 특징 및 이점

• ±5μm의 에어갭 정확도(최대 ±2μm)
• 이음선 없이 일관된 코팅 가능
• 프로세스 영역에서의 최소한의 에어갭:  30 ±5µm
• 모든 크기, 두께의 기판에서 FPD 코팅 응용 분야를 위한 검증된 처리 시스템
• 공기 소비량(압력 및 진공)을 줄여 에너지 비용 절감
• 긁힘, 먼지 및 액체로 인한 손상에 강한 내구성 있는 표면
• 움직이는 부품이 거의 없음(모션 시스템) - 유지 보수 비용 절감