Solution override title: UV 경화
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모든 기판 크기 및 두께의 안정적인 경화를 위한 압력 및 진공 기술 결합

자외선 경화(UV 경화)는 고강도 자외선을 사용하여 코팅이나 접착제를 즉시 경화시키는 광화학 공정입니다.

CoreFlow의 공기 역학 솔루션은 UV 경화 처리 스테이지에 통합되어, 유리 기판이 UV 경화 처리 메커니즘을 거치도록 합니다. CoreFlow의 고유한 에어 플로팅 솔루션을 사용하면 코팅된 기판이 ~30μm의 균일한 에어갭으로 스테이지 위에 떠 있어 UV 경화광의 매우 일관된 노출을 보장합니다.

CoreFlow의 에어 플로팅 솔루션은 어떠한 크기와 두께의 유리 기판에도 맞추어 설계될 수 있으며, 어떠한 길이의 UV 경화 툴에도 내장될 수 있습니다.

UV 광의 사용은 스테이지를 높은 수준의 열에 노출되므로, 기판 뒤틀림과 그로인한 성능 문제를 피하기 위해 냉각 방법이 필요합니다. 혁신을 주도하는 턴키 솔루션 제공업체인 CoreFlow는 한국의 큰 OEM시장을 위해 특별히 설계된 스테이지를 제작했습니다. 스테이지는 수냉 시스템에 연결된 내장형 수냉 채널을 사용합니다.

 

 

 

 

 

 

주요 특징 및 이점:

  • 최대 ±5μm의 에어갭 정확도
  • 이음선 없이 UV 광선에 대한 지속적인 노출
  • 내장형 냉각 시스템
  • 공기 소비량(압력 및 진공)을 줄여 에너지 비용 절감
  • 긁힘, 먼지 및 액체로 인한 손상에 강한 내구성 있는 표면
  • 모든 크기, 두께의 기판에서 UV 경화 응용 분야를 위한 검증된 처리 시스템
  • 움직이는 부품이 적어 유지 보수 비용 절감

Solution override title: 슬릿 코팅
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얼룩 없는(mura-free) 처리를 위한 고정밀의 최적화된 에어 플로우 균일성

첨단 공기 역학 기반의 기판 처리 및 이송 솔루션의 선도적인 공급사인, CoreFlow는 컬러 필터 및 TFT 어레이 제조를 위한 FPD 포토레지스트 코팅(슬릿 코팅) 응용 분야에 사용되는 첨단의 비접촉식 핸들링 시스템을 제공합니다.

LCD 및 OLED 평판 디스플레이의 코팅 공정에 적합한 CoreFlow 시스템은 세계 최고의 여러 FPD 제조 공장에 설치되어 있습니다.

CoreFlow의 슬릿 코팅 에어 플로팅 스테이지는 프로세스 영역에서 탁월한 ±5μm 에어갭 정확도를 제공하여, 유리 기판 핸들링에 있어서 탁월한 신뢰성을 보장합니다. 그 결과, 코팅 품질이 크게 향상됩니다. CoeFlow만의 고유한 SmartNozzle™ 기술은 에어갭의 정확도와 안정성을 보장하는 데 필요한 에어 쿠션 강성을 제공합니다.

Slit Coater System

에어 플로팅 시스템은 모든 크기의 유리 기판을 처리할 수 있는 하나의 균일한 스테이지로 설계되어 있어서 원활하고 일관된 기판 코팅을 보장하고 무라(Mura) 효과를 방지합니다.

 

주요 특징 및 이점

  • ±5μm의 에어갭 정확도(최대 ±2μm)
  • 이음선 없이 일관된 코팅 가능
  • 프로세스 영역에서의 최소한의 에어갭:  30 ±5µm
  • 모든 크기, 두께의 기판에서 FPD 코팅 응용 분야를 위한 검증된 처리 시스템
  • 공기 소비량(압력 및 진공)을 줄여 에너지 비용 절감
  • 긁힘, 먼지 및 액체로 인한 손상에 강한 내구성 있는 표면
  • 움직이는 부품이 거의 없음(모션 시스템) - 유지 보수 비용 절감

Solution override title: FPD 검사
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모든 기판 크기 및 두께의 AOI를 위한 고정밀 비접촉식 솔루션

최신의 G10 스테이지를 포함하여, 전세계적으로 수백대의 설치 사례가 있는 CoreFlow는 FPD 자동 광학 검사(AOI) 분야를 위한 검증된, 최고수준의 에어 플로팅 솔루션을 제공합니다. CoreFlow의 핸들링 플랫폼을 AOI 시스템에 통합하여 최대 포지셔닝 정확도로 유리 기판을 일관되게 안정적으로 처리합니다.

비접촉식 공기 역학 스테이지는 CoreFlow만의 고유한 Air Cushion 및 SmarNozzle을 활용하여 기판 강성과 평탄도를 보장하는 동시에 최대 ±5μm의 매우 정확한 수직 포지셔닝을 유지합니다.

AOI system

CoreFlow의 솔루션은 검사 영역의 고정밀 PV (공압진공) 스테이지에 연결되는 간단한 공압 설계가 적용된 강성 레일 에어 바 구조를 사용합니다.

진공압(PV) 스테이지는 스캔 라인의 양쪽에 위치하여, 검사 영역과 스캔 라인의 백라이트 위에서 매우 정확한 에어갭을 제공합니다. 이러한 스테이지 구성은 빠른 구현을 가능하게 하고, 전체적으로 우수한 평탄도를 제공하는 반면 낮은 질량흐름률의 사용으로 에너지 비용을 절감하게 합니다.


주요 특징 및 이점:

  • 최적의 에어갭 정확도 및 균일한 평탄도
  • 전체 검사 시스템에서 안정적인 성능
  • 어떠한 치수의 유리 기판도 지원하는 고객맞춤형 에어 바는 다음과 같은 이점이 있습니다::
    • 압력 및 진공 연결 최소화
    • 적은 수의 조정 스프링
    • 시스템 하부 구조와의 간단한 인터페이스
  • 공기 소비량(압력 및 진공)을 줄여 에너지 비용 절감
  • 긁힘, 먼지 및 액체로 인한 손상에 강한 내구성 있는 표면
  • 움직이는 부품이 거의 없음(모션 시스템) - 유지 보수 비용 절감

Solution override title: OLED 잉크젯 프린팅
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탁월한 공정 영역 정확도 및 온도 균일성 솔루션

초박형의 유연한 대면적 유기 LED(OLED) 디스플레이 제조의 업계 도전 과제에 대응하여, CoreFlow는 OLED 잉크젯 프린팅 시스템을 위한 검증된 동급 최고 수준의 에어 플로팅 솔루션을 제공합니다.

OLED 박막 인캡(TFE) 및 RGB 픽셀 패터닝 공정에서 사용되는 잉크젯 프린팅 기술이 고급 개발 단계에 접어 들고 있습니다. CoreFlow의 기판 핸들링 플랫폼은 OLED 잉크젯 프린팅 시스템에 통합되어 최대 포지셔닝 정확도로 유리 기판을 일관되게 안정적으로 처리합니다.

비접촉식 공기 역학 스테이지는 CoreFlow만의 고유한 Air Cushion 및 SmartNozzle™ 기술을 활용하여 기판 강성과 평탄도를 보장하는 동시에 프린팅 영역에서 최대 ±5μm의 매우 정확한 수직 포지셔닝을 유지합니다.

 

 

주요 특징 및 이점:

  • 프린팅 영역에서 ±5μm의 에어갭 정확도
  • 이음선 없이 일관된 코팅 가능
  • 공기 소비량(압력 및 진공)을 줄여 에너지 비용 절감
  • 긁힘, 먼지 및 액체로 인한 손상에 강한 내구성 있는 표면
  • 어떠한 기판 크기 및 두께에도 적용되는 FPD 잉크젯 프린팅 응용 분야를 위한 검증된 기판 핸들링 시스템
  • 움직이는 부품이 거의 없음(모션 시스템) - 유지 보수 비용 절감
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