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高精度非接觸式解決方案,適用於對任何基板尺寸和厚度進行 AOI
傳輸系統
無與倫比的加工區精度和溫度均勻性解決方案
高精度和最佳氣流均勻性,適用於需要保證均勻度的工藝
綜合壓力和真空技術,任何基板尺寸和厚度都能可靠地固化
獨特、可靠的晶圓有源面和背面夾持解決方案,可消除背面污染
先進的超薄晶圓處理解決方案,適用於 WLP/FOWLP 工藝
可靠處理高度翹曲晶圓,實現高工藝通量