適用於缺陷檢測 (AOI) 系統的懸浮式解決方案

CoreFlow 在全球安裝了數百台設備，包括最先進的 G10 載台，可為 FPD 自動光學檢測 (AOI) 應用提供成熟、一流的懸浮式解決方案。CoreFlow 的處理平台可集成到 AOI 系統中，以最高定位精度提供一致、可靠的玻璃基板處理。
非接觸式氣動機械載台採用 CoreFlow 獨特的氣浮和 SmartNozzle™ 技術，可確保基板的挺性和平整度，同時保持高達 ±5 μm 的高精度垂直定位。

CoreFlow 的解決方案採用剛性導軌、氣桿結構以及連接到檢測區中高精度 PV 載台的簡單氣動設計。

PV 載台位於掃描線的兩側，在檢測區域和掃描線背光上方提供高精度氣隙。這種載台組態可快速部署，並提供卓越的整體平整度，同時利用低流量需求，從而降低能源成本。

主要特性及優勢:

• 最佳氣隙精度和均勻平面度  
• 在整個檢測系統中提供可靠性能
• 客制化氣桿，支持任何尺寸的玻璃基板，可以處理：

• • 最大限度減少正壓和真空連接數量
  • 減少調整彈簧數量
  • 簡單的系統組裝界面

• 較低的空氣消耗量（壓力和真空）可節省能源成本
• 耐用的表面可防止因劃痕、灰塵和液體造成的損壞
• 極少的主動元件（傳輸系統），可降低維護成本