單源多道獨立真空 (Selective Vacuum) 處理系統

CoreFlow 的單源多道獨立真空（Selective Vacuum，簡稱 SV）解決方案解決了處理翹曲基板的挑戰。將翹曲基板置於單源多道獨立真空夾盤或載台上時，部分真空口（吸盤）可能沒有被遮蓋而暴露在空氣中。這時如果使用標準的真空夾盤或載台，氣流會流向這些未被遮蓋的吸口，使得那些被遮蓋的吸口沒有足夠的真空吸力來抓取基板。

CoreFlow 的單源多道獨立真空 (Selective Vacuum) 裝置搭載 SmartNozzle™ 技術，即使只有部分真空陣列被基板遮蓋，也能很穩固地抓取基板。 這種單源多道獨立真空 (Selective Vacuum) 裝置可確保所有真空吸口都能獲得足夠的氣流，無論是否被基板遮蓋。未遮蓋真空吸口處的氣流將被吸嘴的氣流阻力阻塞，使被遮蓋的真空吸口獲得抓取平整和翹曲基板所需的真空夾持力。

CoreFlow 的單源多道獨立真空 (Selective Vacuum) 夾盤適用於在各種生產應用中抓取基板，包括處理翹曲晶圓、雷射刻線、微影製程、量測檢驗、噴墨印刷等等。

產品特性及優勢