市場對薄型平面顯示器的需求不斷增長,促使 FPD 製造商尋求更高的生產良率。因此,為了提高效率,玻璃基板變得越來越大,而為了滿足市場要求,又變得越來越薄。
隨著玻璃基板變得更大、更薄,就需要新的創新型非接觸式處理和輸送技術來保護它們,以防損壞。主要挑戰在於要確保基板前緣與後緣自然彎曲接觸到平台的風險,從而避免劃傷和破損。
CobraMotion 是一種獨特的壓力/真空 (PV) 技術,旨在避免 PV 載台與翹曲的玻璃基板接觸。借助 CobraMotion,作用於玻璃前緣和後緣的真空力和流量 (MFR) 會降低,而作用於玻璃中心的真空力和 MFR 則保持不變。這樣,玻璃邊緣的平衡高度高於中心,從而可防止基板邊緣受損,並提高良率。
CoreFlow 的 CobraMotion 技術經過現場驗證,已在主要 OEM 的眾多系統中成功運作。
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