適用於光阻塗佈系統的懸浮式解決方案

CoreFlow 是基於氣動機械的先進處理和傳送解決方案的領先供應商，提供一流的非接觸式處理系統，用於彩色濾光片和 TFT 陣列製造的 FPD 光阻塗佈（狹縫式塗佈）應用。CoreFlow 系統適用於 LCD 和 OLED 平面顯示器的光阻塗佈工藝，已安裝於多家世界領先的 FPD 加工廠。CoreFlow 的狹縫式塗佈懸浮載台可在加工區實現卓越的 ±5 μm 氣隙精度，為玻璃基板處理提供無與倫比的可靠性。
因此，塗佈品質得以顯著提高。該系統獨特的 SmartNozzle™ 技術提供所需的氣浮挺性，確保氣隙精度和穩定性。

懸浮式系統被設計成單一、無縫的載台，可處理任何尺寸的玻璃基板，確保獲得平滑、一致的基板塗層，並防止出現非均勻效應。

主要特性及優勢

• ±5 μm（最高 ±2 μm）氣隙精度
• 獲得一致的塗層，無任何接縫線
• 加工區的標稱氣隙： 30 ±5µm
• 適用於 FPD 塗佈應用的成熟處理系統，無論基板尺寸、厚度如何
• 較低的空氣消耗量（壓力和真空）可節省能源成本
• 耐用表面可防止因劃痕、灰塵和液體造成的損壞
• 極少的活動部件（傳輸系統），可降低維護成本