氣孔堵塞監控系統

有些關鍵的 FPD 製造工藝，例如 OLED 噴墨印刷或光阻塗佈，可能會導致材料洩漏到正壓/真空 (PV) 處理載台上。材料洩漏可能會造成 PV 氣孔堵塞，降低製造系統性能，並影響基板懸浮高度精度。在極端情況下，堵塞可能會導致基板與載台表面直接接觸，從而損壞基板。綜合來說，PV 氣孔堵塞會延長生產線停機時間，增加維護成本，並降低生產良率。

下面介紹一下 CoreFlow 的氣孔堵塞監控系統。

氣孔堵塞監控系統可監控載台加工區域的供氣情況，在檢測到堵塞時發出警報指示。根據該指示，生產團隊可在一個玻璃基板循環時間內精確找到堵塞事件，顯著減少了故障排除時間，並提高了生產良率。

該監控系統與 CoreFlow PV 懸浮和真空載台相容，可集成到塗佈系統、檢測系統和噴墨印表機中。它可根據任何基板尺寸進行延展，並支持任何氣孔結構分佈，包括兩軸正交、一軸交錯分佈、軸對稱或隨機分佈。該系統可設定為監控系統中的所有真空氣孔或其中的部分區域