真空輪 (V-Wheels) 傳輸系統

CoreFlow 的真空輪 (V-Wheels) 傳輸系統可實現快速、準確的基板輸送，並保持與基板表面的最少接觸。真空輪透過產生真空，牢牢抓住基板的邊緣，並將其快速送去加工區，從而提高製造良率。該系統經過設計可輸送任何尺寸的基板，厚度從 0.2 mm 到 0.5 mm 不等。

真空施加於基板的無效區（距離基板邊緣 10 mm）。

主要特性及優勢：

• 高加速率和高達 1.5 m/sec 的傳送速度，可提高生產量能
• 透過精準輸送加快製造過程並減少錯誤
• 設計用於處理薄至 0.2 mm 的玻璃基板
• 輸送任何尺寸的大型基板
• 集成到現有的生產線中

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