Solution override title: 狹縫式塗佈

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高精度和最佳氣流均勻性，適用於需要保證均勻度的工藝

CoreFlow 是基於氣動機械的先進處理和傳送解決方案的領先供應商，提供一流的非接觸式處理系統，用於彩色濾光片和 TFT 陣列製造的 FPD 光阻塗佈（狹縫式塗佈）應用。CoreFlow 系統適用於 LCD 和 OLED 平面顯示器的光阻塗佈工藝，已安裝於多家世界領先的 FPD 加工廠。CoreFlow 的狹縫式塗佈懸浮載台可在加工區實現卓越的 ±5 μm 氣隙精度，為玻璃基板處理提供無與倫比的可靠性。
因此，塗佈品質得以顯著提高。該系統獨特的 SmartNozzle™ 技術提供所需的氣浮挺性，確保氣隙精度和穩定性。

懸浮式系統被設計成單一、無縫的載台，可處理任何尺寸的玻璃基板，確保獲得平滑、一致的基板塗層，並防止出現非均勻效應。

主要特性及優勢

• ±5 μm（最高 ±2 μm）氣隙精度
• 獲得一致的塗層，無任何接縫線
• 加工區的標稱氣隙： 30 ±5µm
• 適用於 FPD 塗佈應用的成熟處理系統，無論基板尺寸、厚度如何
• 較低的空氣消耗量（壓力和真空）可節省能源成本
• 耐用表面可防止因劃痕、灰塵和液體造成的損壞
• 極少的活動部件（傳輸系統），可降低維護成本

Solution override title: FPD 檢測

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高精度非接觸式解決方案，適用於對任何基板尺寸和厚度進行 AOI

CoreFlow 在全球安裝了數百台設備，包括最先進的 G10 載台，可為 FPD 自動光學檢測 (AOI) 應用提供成熟、一流的懸浮式解決方案。CoreFlow 的處理平台可集成到 AOI 系統中，以最高定位精度提供一致、可靠的玻璃基板處理。
非接觸式氣動機械載台採用 CoreFlow 獨特的氣浮和 SmartNozzle™ 技術，可確保基板的挺性和平整度，同時保持高達 ±5 μm 的高精度垂直定位。

CoreFlow 的解決方案採用剛性導軌、氣桿結構以及連接到檢測區中高精度 PV 載台的簡單氣動設計。

PV 載台位於掃描線的兩側，在檢測區域和掃描線背光上方提供高精度氣隙。這種載台組態可快速部署，並提供卓越的整體平整度，同時利用低流量需求，從而降低能源成本。

主要特性及優勢:

• 最佳氣隙精度和均勻平面度  
• 在整個檢測系統中提供可靠性能
• 客制化氣桿，支持任何尺寸的玻璃基板，可以處理：

• • 最大限度減少正壓和真空連接數量
  • 減少調整彈簧數量
  • 簡單的系統組裝界面

• 較低的空氣消耗量（壓力和真空）可節省能源成本
• 耐用的表面可防止因劃痕、灰塵和液體造成的損壞
• 極少的主動元件（傳輸系統），可降低維護成本

Solution override title: OLED 噴墨印刷

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無與倫比的加工區精度和溫度均勻性解決方案

CoreFlow 為 OLED 噴墨印刷系統提供成熟、一流的懸浮式解決方案，以響應製造超薄、柔性、大面積有機發光二極體 (OLED) 顯示器的工業挑戰。OLED 薄膜封裝 (TFE) 和 RGB 像素圖案所採用的噴墨印刷技術正在進入高階發展階段。CoreFlow 的處理平台可集成到 OLED 噴墨印刷系統中，以最高定位精度提供一致、可靠的玻璃基板處理。非接觸式氣動機械載台採用 CoreFlow 獨特的氣浮和 SmartNozzle™ 技術，可確保基板的挺性和平整度，同時在印刷區保持高達 ±5 μm 的高精度垂直定位。

主要特性及優勢：

• 在印刷區保持 ±5 μm 的氣隙精度
• 一致的塗層，無任何接縫線
• 較低的空氣消耗量（壓力和真空）可節省能源成本
• 耐用表面可防止因劃痕、灰塵和液體造成的損壞
• 適用於 FPD 噴墨印刷應用的成熟處理系統，無論基板尺寸、厚度如何
• 極少的主動元件（傳輸系統），可降低維護成本