CoreFlow 的真空輪 (V-Wheels) 傳輸系統可實現快速、準確的基板輸送,並保持與基板表面的最少接觸。真空輪透過產生真空,牢牢抓住基板的邊緣,並將其快速送去加工區,從而提高製造良率。該系統經過設計可輸送任何尺寸的基板,厚度從 0.2 mm 到 0.5 mm 不等。
真空施加於基板的無效區(距離基板邊緣 10 mm)。
主要特性及優勢:
- 高加速率和高達 1.5 m/sec 的傳送速度,可提高生產量能
- 透過精準輸送加快製造過程並減少錯誤
- 設計用於處理薄至 0.2 mm 的玻璃基板
- 輸送任何尺寸的大型基板
- 集成到現有的生產線中
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真空預載 (VPL) 是一種可高速、高加速度的傳輸系統技術,它可以輸送和裝載任何玻璃基板,並不受重量的限制。VPL 傳輸系統最適合作為輪式輸送機和氣浮載台之間的接口。該系統能夠打開和關閉真空驅動力,在玻璃接近精密加工區時,以最大限度避免玻璃變形,而不會對輪子產生任何衝擊力。
VPL 傳輸系統 — 橫截面 VPL 輪上方的玻璃
主要特性及優勢:
- 結構簡單,並使用最少表面接觸
- 打開/關閉時不會產生上/下彈動
- 低限度玻璃變形 (~0.1mm)
- 高加速度(~ 1m/sec²,與玻璃重量無關)
- 高速傳輸 (1.5m/sec),減少 TACT
- 最低校準要求,最少維護停機時間
- 在玻璃接近時,對輪子沒有邊緣衝擊力
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