真空预载 (VPL) 是一种高速、高加速度的运动系统技术,它可以输送和装载任何玻璃基板,无论其重量如何。VPL 运动系统最适合作为轮式输送机和悬浮载台之间的接口。该系统能够打开和关闭驱动力真空,在玻璃接近加工系统时,最大限度避免玻璃变形,而不会对轮子产生任何冲击力。
VPL 运动系统 — 横截面 VPL 轮上方的玻璃
主要特性和优势:
- 结构简单,最少的表面接触
- 打开/关闭时不会产生上/下运动
- 最大限度避免玻璃变形 (~0.1mm)
- 高加速度(~ 1m/sec²,与玻璃重量无关)
- 高速加工 (1.5m/sec),减少 TACT
- 最低校准要求,最少维护停机时间
- 在玻璃接近时,对轮子没有边缘冲击力
有关 VPL 运动系统的演示视频, <请点击此处>