CobraMotion

市场对薄型平板显示器的需求不断增长，促使 FPD 制造商寻求更高的生产良率。因此，为了提高效率，玻璃基板变得越来越大，而为了满足市场要求，又变得越来越薄。
随着玻璃基板变得更大、更薄，就需要创新型非接触式处理和输送技术来防止它们损坏。主要挑战在于要确保处理平台自然弯曲的基板前缘和后缘不会接触到平台，从而避免划伤和破损。
CobraMotion 是一种独特的压力/真空 (PV) 技术，旨在避免 PV 载台与翘曲的玻璃基板接触。借助 CobraMotion，作用于玻璃前缘和后缘的真空力和气体流量 (MFR) 会降低，而作用于玻璃中心的真空力和 MFR 则保持不变。
这样，玻璃边缘的平衡高度高于中心，从而可防止基板边缘受损，并提高良率。