适用于缺陷检测 (AOI) 系统的悬浮式解决方案

CoreFlow 在全球安装了数百台设备，包括最先进的 G10 载台，可为 FPD 自动光学检测 (AOI) 应用提供成熟、一流的悬浮式解决方案。CoreFlow 的处理平台可集成到 AOI 系统中，以最高定位精度提供一致、可靠的玻璃基板处理。非接触式气动机械载台采用 CoreFlow 独特的气垫和 SmartNozzle™ 技术，可确保基板的刚度和平整度，同时保持高达 ±5 μm 的高精度垂直定位。

CoreFlow 的解决方案采用刚性导轨、气杆结构以及连接到检测区中高精度 PV 载台的简单气动设计。

PV 载台位于扫描线的两侧，在检测区域和扫描线背光上方提供高精度气隙。这种载台配置可快速部署，并提供卓越的整体平整度，同时利用低质量流量，从而降低能源成本。

主要特性和优势

• 最佳气隙精度和均匀的平整度
• 在整个检测系统中提供可靠性能
• 定制的气杆，支持任何尺寸的玻璃基板，能够：
  
  • 最大限度减少压力和真空连接数量
  • 减少调整弹簧数量
  • 简单系统的组装界面
• 较低的空气消耗量（压力和真空）可节省能源成本
• 耐用表面可防止因划痕、灰尘和液体造成的损坏
• 极少的活动部件（运动系统），可降低维护成本