气孔堵塞监控系统

有些关键的 FPD 制造工艺，例如 OLED 喷墨印刷或光刻胶涂布，可能会导致材料泄漏到压力/真空 (PV) 处理载台上。材料泄漏可能会造成 PV 吸嘴堵塞，降低制造系统性能，并影响基板悬浮高度精度。在极端情况下，堵塞可能会导致基板与载台表面直接接触，从而损坏基板。总之，PV 气孔堵塞会延长生产线停机时间，增加维护成本，并降低生产良率。

下面介绍一下 CoreFlow 的吸嘴堵塞监控系统。
气孔堵塞监控系统可监控载台加工区域的供气情况，在检测到堵塞时发出警报指示。根据该指示，生产团队可在一个玻璃基板循环时间内精确找到堵塞事件，显著减少了故障排除时间，并提高了生产良率。
该监控系统与 CoreFlow PV 悬浮和真空载台兼容，可集成到涂布系统、检测系统和喷墨印刷机中。它可根据任何基板尺寸进行扩展，并支持任何气孔图案分布，包括两轴正交、一轴交错分布、轴对称或随机分布。该系统可配置为监控系统中的所有真空气孔或部分区域。