适用于光刻胶涂布系统的悬浮式解决方案

CoreFlow 是基于气动机械的先进处理和输送解决方案的领先供应商，提供先进的非接触式处理系统，用于彩色滤光片和 TFT 阵列制造的 FPD 光刻胶涂布（狭缝式涂布）应用。

CoreFlow 系统适用于 LCD 和 OLED 平板显示器的涂布工艺，已安装于多家世界领先的 FPD 制造商。CoreFlow 的狭缝式涂布悬浮载台可在加工区实现卓越的 ±5 μm 气隙精度，为玻璃基板处理提供无与伦比的可靠性。
因此，涂布质量得以显著提高。该系统独特的 SmartNozzle™ 技术提供所需的气垫刚度，确保气隙精度和稳定性。

悬浮式系统被设计成单一、无缝的载台，可处理任何尺寸的玻璃基板，确保获得平滑、一致的基板涂层，并防止出现非均匀效应。

主要特性和优势

• ±5 μm（高达 ±2 μm）的气隙精度
• 获得一致的涂层，无任何接缝线
• 加工区的标称气隙：30 ±5 µm
• 适用于 FPD 涂布应用的成熟处理系统，无论基板尺寸、厚度如何
• 较低的空气消耗量（压力和真空）可节省能源成本
• 耐用表面可防止因划痕、灰尘和液体造成的损坏
• 极少的活动部件（运动系统），可降低维护成本