技术

SmartNozzle™ 是我们的专家团队开发的各种基于气流的专利技术的核心。我们将这些技术转化为数百种经过现场验证的处理解决方案，可提供最高水平的质量和性能。

SmartNozzle™ 技术是 CoreFlow 非接触悬浮式解决方案的核心。SmartNozzle™ 采用垂直气流模式和创新的空气动力学设计，可精确控制空气、气体或液体的流动，并生产出异常坚硬且稳定的气浮，可提供刚度大大高于基于多孔... 阅读更多 >>

市场对薄型平板显示器的需求不断增长，促使 FPD 制造商寻求更高的生产良率。因此，为了提高效率，玻璃基板变得越来越大，而为了满足市场要求，又变得越来越薄。随着玻璃基板变得更大、更薄，就需要创新型非接触式处... 阅读更多 >>

CoreFlow 的单源多道独立真空（Selective Vacuum，简称 SV）解决方案解决了处理翘曲基板的挑战。将翘曲基板置于真空吸盘或载台上时，部分真空口（吸盘）可能没有被遮盖而暴露在空气中。这时如果使用标准的真空吸盘或... 阅读更多 >>

有些关键的 FPD 制造工艺，例如 OLED 喷墨印刷或光刻胶涂布，可能会导致材料泄漏到压力/真空 (PV) 处理载台上。材料泄漏可能会造成 PV 吸嘴堵塞，降低制造系统性能，并影响基板悬浮高度精度。在极端情况下，堵塞可能... 阅读更多 >>

CoreFlow 以其关键技术SmartNozzleTM 为基础，开发出了一套先进的气动机械解决方案，可满足 FPD、半导体等工业对基板处理的最严苛要求：大气压力 (PA) 压力真空 (PV) 压力大气 (PA) 气浮压力大气 (PA) 配... 阅读更多 >>

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